服務熱線
13501238067
品牌 | 其他品牌 | 最小檢測分壓 | 5E-14 mbar |
---|---|---|---|
檢測限 | 5ppb | 質量數范圍 | 510amu |
價格區間 | 100萬-150萬 | 產地類別 | 進口 |
應用領域 | 化工,電子,冶金,航天,電氣 |
20年前,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學雜志發布了HPR-80腐蝕性氣體分析質譜儀,初期主要應用于半導體行業的特氣檢測,如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等,強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等,強氧化性氣體如CIF3、NF3等。
20年來,Hiden在這一細分領域具有強大的產品力,針對不同程度的腐蝕氣體分析,提供不同的解決方案。
HPR-80腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物。
主要特點:
1、連接件電拋光工藝處理
2、取樣壓力:1mTorr to 1000Torr
3、高靈敏度三級過濾四極桿
4、檢測限可達 5 ppb
5、QGA專業版定量分析軟件
上一產品:LAS泄漏分析系統 在線質譜分析方法
下一產品:PTR-TOF QBVOCs走航質譜儀
掃一掃 微信咨詢
© 2024 英格海德分析技術有限公司 版權所有 備案號:京ICP備05008133號-4 技術支持:化工儀器網 管理登陸 sitemap.xml